旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)為高精度數(shù)碼控制器的勻膠旋涂儀，非常方便設(shè)定速度和加速度程序段，適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝。還可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
采用的高速涂布頭，能有效降低氣泡的產(chǎn)生，配置全速自動(dòng)接膜機(jī)構(gòu)，張力閉環(huán)自動(dòng)控制。與普通的上膠涂布機(jī)相比有其的優(yōu)點(diǎn)。在逆轉(zhuǎn)輥涂布過程中，如果兩輥間隙比較小，毛細(xì)準(zhǔn)數(shù)足夠低，也就是在黏度或速度比較小情況下，在比較寬的速度比率范圍內(nèi)的的流動(dòng)比較穩(wěn)定，能得到比較好的涂布表觀質(zhì)量。如果間隙比較大，在涂布速度較高時(shí)，就容易出現(xiàn)空氣夾帶，在涂層表面有許多微小氣泡。
功能特點(diǎn)：
1、采用AC伺服電動(dòng)機(jī)：
2、無刷式，不會(huì)造成無塵室污染。
3、減少電動(dòng)機(jī)發(fā)熱，也減少因連續(xù)使用時(shí)的溫度上升造成封膜厚再現(xiàn)性的影響。
4、電力消費(fèi)低，減低環(huán)境的負(fù)擔(dān)。
5、擴(kuò)張程式功能：
6、Z多有100階段程式、可記憶10中模式，更容易使用。
7、機(jī)型皆標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)位式真空計(jì)
8、方形基板等可設(shè)定停止時(shí)位置，超方便：
9、安全裝置機(jī)構(gòu)（真空壓及蓋子）
10、由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時(shí)，可以變更安全裝置機(jī)構(gòu)（真空）的稼動(dòng)壓力。
旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)在運(yùn)行過程中常會(huì)出現(xiàn)傳動(dòng)部位磨損的問題，如涂布機(jī)烘缸軸頭磨損、卷紙輥軸承室磨損等。傳統(tǒng)的修復(fù)方法有堆焊、熱噴涂、電刷鍍等，不干膠復(fù)合涂布機(jī)也都存在一定的弊端：堆焊會(huì)使零件表面達(dá)到很高溫度，造成變形或裂紋，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)導(dǎo)致軸的斷裂；電鍍鍍層不能太厚，且污染嚴(yán)重，應(yīng)用也受到了限制。
